PDC200/PDC210/PDC510 等离子蚀刻仪/等离子清洗机YAMATO PDC200/PDC210/P..._详细资料

产品信息

仪器简介：
研究开发用Z适合等离子清洗机

用途：

CSB/BGA/COB基板的等离子处理
有机膜和金属氧化膜的除去
印刷电路基板的干洗
界面活性处理
主要特点：
RIE模式标配（DP切换为选购）
等离子的均应性高操作简单的液晶触摸屏控制面

技术参数：
型号 PDC200 PDC210 PDC510
模式 RIE模式（DP选配） DP模式 DP/RIE切换方式
电极构造平行平板电极（固定）
高频输出功率 MAX300W                    Max 500W
频率 13.56MHz
控制方式自动联动，液晶触摸屏控制
反应室尺寸 400×250×150mm 500×300×200
电极尺寸 250×170mm 400×200mm
反应室材质                                         一次性一体成型铝腔（防腐蚀，可对应CF4）
反应气体 2系统（Ar/O2）
填充气体 N2/洁净干燥空气
反应气体流量控制流量计聚合控制器
真空泵另行选配 KASHIYAMA Neodry30E（排气量500L/min） KASHIYAMA Neodry30E（排气量500L/min）
气体导入口反应气体2套，填充气体1套
外型尺寸 540×600×600mm 540×600×600mm 700×700×700mm
电源单相AC100V 1 50/60Hz                                          三相AC100V 1 50/60Hz

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型号	PDC200	PDC210	PDC510
模式	RIE模式（DP选配）	DP模式	DP/RIE切换方式
电极构造	平行平板电极（固定）
高频输出功率	MAX300W	Max 500W
频率	13.56MHz
控制方式	自动联动，液晶触摸屏控制
反应室尺寸	400×250×150mm		500×300×200
电极尺寸	250×170mm		400×200mm
反应室材质	一次性一体成型铝腔（防腐蚀，可对应CF4）
反应气体	2系统（Ar/O2）
填充气体	N2/洁净干燥空气
反应气体流量控制	流量计	聚合控制器
真空泵	另行选配	KASHIYAMA Neodry30E（排气量500L/min）	KASHIYAMA Neodry30E（排气量500L/min）
气体导入口	反应气体2套，填充气体1套
外型尺寸	540×600×600mm	540×600×600mm	700×700×700mm
电源	单相AC100V 1 50/60Hz	三相AC100V 1 50/60Hz