德国diener等离子表面处理设备特点:
1、等离子清洗机效果好,效率高,应用范围广
2、对清洗样品没有任何材质、外观尺寸等要求
3、等离子清洗过程中升温小,基本可达到常温处理
4、射频功率无极连续可调
5、高校的特质电极,是产生均匀等离子体的保证
6、特制电极和托盘结构,可充分利用真空腔体内部空间,使处理效率Z大化,同时也可得到全面有效的清洗
7、特有的过载、短路和过热保护电路,可保证射频电源的稳定和安全
8、设备整体模块化设计,安装与维护极为简单
Diener等离子清洗机 Tetra 30 参数配置:
主要技术参数:
- *便捷的PC触摸屏控制,操作系统为Windows CE5.0(ARM)
- *根据工艺要求不同,可设定功率、压强、气体流量与时间等参数
- 双路工作气体,气体流量通过数字式流量计(MFC)控制
- *反应舱为不锈钢,宽305mm ×深625 mm×高300 mm ,容积约为50L
- 高周波电流频率13.56MHz,功率0~300W
- 反射波自动调节,无须手工调节
- 电极材质为铝/不锈钢
- 运行模式为手动/自动
- *可存储多套工艺程序,图表实时显示工艺过程
- 真空泵的排气能力为16m3/Hour,配有强制进气阀
- *配有压力传感器,可根据工艺要求设定压力值
- 电源电压:400V /16A
配置清单:
| 数量 | 备注 |
主机Tetra | 一台 | Diener |
真空泵 | 一台 | 德国原装进口 |
压力传感器 | 一个 | |
强制进气阀 | 一个 | |