XTY5115219 石英管式微波等离子体发生装置

石英管式微波等离子体发生装置

(一)性能概况

1、微波2.45GHz；0～500W或0～1000W足额功率，连续可调；

2、本底真空不劣于10Pa；工作气体分3路控制流(入)量；

3、Φ50mm或Φ90mm石英管反应室，置于微波系统和真空系统的偶合点上；

4、制冷循环水冷却。

                                (二)典型实验

1、化学气相沉积制备金刚石薄膜、碳纳米材料等；

2、集成电路等的刻蚀；

3、可催化引发常规化学很难实现的反应；

4、高分子、金属、生物材料表面改性。

                                 (三)产品特色

1、微波准零泄漏，确保人身安全；

2、微波足额功率，等离子体活力强劲；

3、样品升降架精巧豪，可加热可冷却；

4、制冷循环水避免长流水费水扰民；

5、循环水机可联机可独立使用；

6、缺水保护报警功能完善可靠；

7、排气口有环保型油雾过滤器；

8、电控系统功能完善灵便醒目；

9、整机造型典雅大气。