裂像显微镜MT-300 芯片支架半导体支架深度高度裂像量测显微镜_详细资料

产品信息

MT-300金相工具显微镜

■ 创新图像处理技术，获得更精细的动态图像，测量数据直接发送至Aout CAD中，
测量数据及时传输到Word/Excel，以便实时分析，强大的元素测量功能。
■ 全新的光路设计无限远校正光学系统，光效率更高，采用长寿命LED光源，
提供出色的图像质量。
技术参数
配置
MT-200
MT-300
MT-400
测量范围(mm)
X
200
300
400
Y
100
200
300
Z
150
150
150
工作台
(mm)
铝合金台面
350*250
500*350
600*500
玻璃台面
250*150
350*250
450*350
承重
15Kg
影像及
测量系统
CCD
美国TEO 1/2"高分辨率彩色相机
光学系统
无限远色差校正光学系统
三目观察筒
三目观察筒（分光比50：50），1XCTV接口
目镜
PL10X/22平场高眼点目镜（其中1只十字）
物镜
5X物镜（明场无限远，DIC）， 5X/0.13    WD10.8mm
10X物镜（明场无限远，DIC），10X/0.25   WD10.0mm
20X物镜（明场无限远，DIC），20X/0.40   WD4.0mm
50X物镜（明场无限远），     50X/0.55        WD7.9mm
显示分辨率
0.001mm
测量精度
X/Y轴
（3+L/200）um
Z轴(选配)
（5+L/200）um
重复性
2um
调焦系统
手动
Z轴行程150mm，粗微同轴，Z小调节精度2um
照明系统
反射：柯勒照明系统，24V/150W光钎冷光源
透射：5W白色LED，
偏光装置
直偏、检偏器
台式电脑
2G/500G/DVD/键鼠/+19液晶显示器
测量软件
二维几何量测量功能主要包括：两点间距离、点到直线的距离、角度、圆心距；十字线显示，
校正片
0.01mm
电源
90～240V电压，50HZ
仪器重量
320Kg、
可供附件
0.5X CTV接口
DIC微分干涉片
100X物镜（明场无限远），   100X/0.80   WD2.1mm选配

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配置		MT-200	MT-300	MT-400
测量范围(mm)	X	200	300	400
	Y	100	200	300
	Z	150	150	150
工作台 (mm)	铝合金台面	350*250	500*350	600*500
	玻璃台面	250*150	350*250	450*350
	承重	15Kg
影像及测量系统	CCD	美国TEO 1/2"高分辨率彩色相机
	光学系统	无限远色差校正光学系统
	三目观察筒	三目观察筒（分光比50：50），1XCTV接口
	目镜	PL10X/22平场高眼点目镜（其中1只十字）
	物镜	5X物镜（明场无限远，DIC）， 5X/0.13 WD10.8mm
		10X物镜（明场无限远，DIC），10X/0.25 WD10.0mm
		20X物镜（明场无限远，DIC），20X/0.40 WD4.0mm
		50X物镜（明场无限远）， 50X/0.55 WD7.9mm
显示分辨率		0.001mm
测量精度	X/Y轴	（3+L/200）um
	Z轴(选配)	（5+L/200）um
	重复性	2um
调焦系统	手动	Z轴行程150mm，粗微同轴，Z小调节精度2um
照明系统		反射：柯勒照明系统，24V/150W光钎冷光源
		透射：5W白色LED，
偏光装置		直偏、检偏器
台式电脑		2G/500G/DVD/键鼠/+19液晶显示器
测量软件		二维几何量测量功能主要包括：两点间距离、点到直线的距离、角度、圆心距；十字线显示，
校正片		0.01mm
电源		90～240V电压，50HZ
仪器重量		320Kg、
可供附件		0.5X CTV接口
		DIC微分干涉片
		100X物镜（明场无限远）， 100X/0.80 WD2.1mm选配