奥地利Alicona InfiniteFocus 自动变焦三维表面测量仪
主要特点: 1. 测量非常陡峭的斜面 2. 标注真实的颜色信息 3. 测量高反射性的表面 4. 测量非常粗糙的表面 5. 高垂直分辨率的动态调整
该仪器可以进行的测量和分析有: 1. 形貌分析(高度、粗糙度.......) 2. 面积分析 3. 形状分析(可测量非常复杂的几何外形) 4. 体积分析(计算凹凸部分地体积) 5. 2D图像分析 6. 通过脚本自动测量(通过用户和Alicona的简单编程来完成测量)
技术参数垂直分辨率:10nm 水平光学分辨率:400nm 水平取样距离:90nm Z大扫描高度:22mm Z大扫描面积:10000mm2
InfiniteFocus是国际ling先的全自动变焦三维测量仪,它的操作原理是小景深的光学系统与垂直扫描相结合,利用焦距变化提供形貌和色彩信息。新颖独特的运算法则把它重建成包含精确形貌信息的独立的3D数据集,可追踪的校准标准可以验证测量结果。
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