基本配置及参数
反射镜：Φ30mm，平面度1/20λ
移动镜预置螺旋：Z小分度值0.01mm，行程10mm（5-15mm）
测量精度：Z小读数值0.0005mm，行程1.25mm
55×55mm
注：此配置及参数仅供参考，请以装箱单为准，如有细小变动恕不另行通知。
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