FMA-A2107 FMA-A2306流量计 美国omega流量计
气体质量流量计和控制器可选配一体式显示屏,用于测量洁净气体
FMA-A2000系列
气体质量流量计和控制器可选配一体式显示屏,用于测量洁净气体
FMA-A2000系列:气体质量流量计和控制器可选配一体式显示屏,用于测量洁净气体
精度为±1%
线性模拟输出
成本低
采用热感技术
可测量高达100 SLM的流量
内含电源
FMA-A2000系列电子质量流量计/控制器性能出众、 功能多样、设计先进、外形紧凑。
FMA-A2000利用毛细管式热感技术直接测量气体的质量流量。
无需进行温度、压力或平方根校正。
FMA-A2300/2400系列配备LCD显示屏,并且所有型号都提供线性0 ~ 5 Vdc和 4 ~ 20 mA输出。
FMA-A2000测量0 ~ 100 SLM之间24个量程的气体质 量流量。要查看完整列表,请参阅下一页的量程表。
FMA-A2000系列与大部分非腐蚀性气体相容。建议用户对照气体相容性检查接液材料。
OMEGA的质量流量控制器利用内部电磁比例阀控制质量流量。
可以通过内部电位器设定值或者通过0 ~ 5 Vdc外部源 提供指令信号。
规格:
精度: 满量程的±1%(包括线性度)
重复性: 满量程的±0.15%或者更佳
量程比: 100:1
响应时间: 5秒
气体环境温度: 0 ~ 50°C (32 ~ 122°F)
温度系数: 每1°C为满量程的0.05%或更佳
压力系数: 每psi为满量程的0.01%或更佳
Z低压力要求:
流量计: 1英寸水柱
Z大流速为1 SLM的控制器: 1 psi
流速大于20 SLM的控制器: 20 psi
质量流量控制器的压差: <5 LPM,5 ~ 50 psi(标准)
>5 LPM,20 ~ 40 psi(标准)
气体Z大压力:
聚甲醛: 250 psig
316不锈钢: 500 psig
泄漏完整性: 1 x10-6 cc/min氦气或更佳
接液部件:
标配: 聚甲醛、氟橡胶O形圈
选配: 316不锈钢、氟橡胶O形圈
连接口: ¼ FNPT(标配);
¼"压合接头(适用于所有不锈钢型号流量计)
输入/输出连接口: 9针sub-D连接器
控制信号: 0 ~ 5 Vdc
控制阀: 常闭电磁阀
输出信号: 线性0 ~ 5 Vdc(Z小负载1000 Ω),4 ~ 20 mA(环路电阻500 Ω)
安装螺纹:
316不锈钢壳体: 6⁄32"螺纹
聚甲醛材料: #4/6自攻螺丝
输入电源:
流量计: 24 Vdc @ 150 mA、115 Vac和220 Vac(带交流适配器)
控制器: 24 Vdc @ 300 mA、115 Vac和220 Vac(带交流适配器)
外形尺寸: 参见图纸
重量: 1.25 kg (2.75 lb)(含电源)
产品型号/产品描述
聚甲醛质量流量计,不带显示屏
FMA-A2100 0到10 SCCM
FMA-A2101 0到20SCCM
FMA-A2102 0到50SCCM
FMA-A2103 0到100SCCM
FMA-A2104 0到200SCCM
FMA-A2105 0到500SCCM
FMA-A2107 0到2SLM
FMA-A2108 0到5SLM
FMA-A2109 0到10SLM
FMA-A2117 0到50SLM
FMA-A2118 0到55的SLM
FMA-A2119 0到60SLM
FMA-A2120 0到65SLM
FMA-A2121 0到70SLM
FMA-A2122 0到75SLM
FMA-A2123 0到100SLM
聚甲醛质量流量控制器,不带显示屏
FMA-A2200-(**) 0到10 SCCM
FMA-A2201-(**) 0到20SCCM
FMA-A2202-(**) 0到50SCCM
FMA-A2203-(**) 0到100SCCM
FMA-A2204-(**) 0到200SCCM
FMA-A2205-(**) 0到500的SCCM
FMA-A2206-(**) 0到1SLM
FMA-A2207-(**) 0到2SLM
FMA-A2208-(**) 0到5SLM
FMA-A2209-(**) 0到10SLM
FMA-A2210-(**) 0到15SLM
FMA-A2211-(**) 0到20SLM
FMA-A2212-(**) 0到25SLM
FMA-A2213-(**) 0到30SLM
FMA-A2214-(**) 0到35SLM
FMA-A2215-(**) 0到40SLM
FMA-A2216-(**) 0到45SLM
FMA-A2217-(**) 0到50SLM
不锈钢质量流量控制器,不带显示器
FMA-A2200-SS-(**) 0到10SCCM
FMA-A2201-SS-(**) 0到20SCCM
FMA-A2202-SS-(**) 0到50SCCM
FMA-A2203-SS-(**) 0到100SCCM
FMA-A2204-SS-(**) 0到200SCCM
FMA-A2205-SS-(**) 0到500SCCM
FMA-A2206-SS-(**) 0到1SLM
FMA-A2207-SS-(**) 0到2SLM
FMA-A2208-SS-(**) 0到5SLM
FMA-A2209-SS-(**) 0到10SLM
FMA-A2210-SS-(**) 0到15SLM
FMA-A2211-SS-(**) 0到20SLM
FMA-A2212-SS-(**) 0到25的SLM
FMA-A2213-SS-(**) 0到30SLM
FMA-A2214-SS-(**) 0到35SLM
FMA-A2215-SS-(**) 0到40SLM
FMA-A2216-SS-(**) 0到45的SLM
FMA-A2217-SS-(**) 0到50的SLM
聚甲醛质量流量计,带显示屏
FMA-A2300 0到10SCCM
FMA-A2301 0到20SCCM
FMA-A2302 0到50SCCM
FMA-A2303 0到100SCCM
FMA-A2304 0到200SCCM
FMA-A2305 0到500SCCM
FMA-A2306 0到1SLM
FMA-A2307 0到2的SLM
FMA-A2308 0到5的SLM
FMA-A2309 0到10SLM
FMA-A2317 0到50SLM
FMA-A2318 0到55SLM
FMA-A2319 0到60SLM
FMA-A2320 0到65SLM
FMA-A2321 0到70SLM
FMA-A2322 0到75SLM
FMA-A2323 0到100SLM
聚甲醛的质量流量控制器,带显示屏
FMA-A2400-(**) 0到10SCCM
FMA-A2401-(**) 0到20SCCM
FMA-A2402-(**) 0到50SCCM
FMA-A2403-(**) 0到100SCCM
FMA-A2404-(**) 0到200SCCM
FMA-A2405-(**) 0到500SCCM
FMA-A2406-(**) 0到1SLM
FMA-A2407-(**) 0到2SLM
FMA-A2408-(**) 0到5SLM
FMA-A2409-(**) 0到10SLM
FMA-A2410-(**) 0到15SLM
FMA-A2411-(**) 0到20SLM
FMA-A2412-(**) 0到25SLM
FMA-A2413-(**) 0到30SLM
FMA-A2414-(**) 0到35的SLM
FMA-A2415-(**) 0到40SLM
FMA-A2416-(**) 0到45SLM
FMA-A2417-(**) 0到50SLM
不锈钢质量流量控制器,带显示屏
FMA-A2400-SS-(**) 0到10SCCM
FMA-A2401-SS-(**) 0到20SCCM
FMA-A2402-SS-(**) 0到50SCCM
FMA-A2403-SS-(**) 0到100SCCM
FMA-A2404-SS-(**) 0到200SCCM
FMA-A2405-SS-(**) 0到500SCCM
FMA-A2406-SS-(**) 0到1SLM
FMA-A2407-SS-(**) 0到2SLM
FMA-A2408-SS-(**) 0到5SLM
FMA-A2409-SS-(**) 0到10SLM
FMA-A2410-SS-(**) 0到15SLM
FMA-A2411-SS-(**) 0到20SLM
FMA-A2412-SS-(**) 0到25SLM
FMA-A2413-SS-(**) 0到30SLM
FMA-A2414-SS-(**) 0到35SLM
FMA-A2415-SS(**) 0到40SLM
FMA-A2416-SS-(**) 0到45SLM
FMA-A2417-SS-(**) 0到50SLM
配件
FMA-200PWA 备用插座式插接电源(90 ~ 260 Vac)
注释: 配备操作手册、9针sub-D连接器、电源及NIST校准(无数据点)。
欲购可选316不锈钢壳体仪表,请将后缀"-SS"添加到型号中(需付额外费用)(¼"压合接头为标配)。对于FMA-A22与FMA-A24控制器,不锈钢壳体是标配。
注:所有指定的控制器流量范围均针对20 psig时的氮气或空气;在用于其它气体时,需要使用相关系数确定流量。
** 指定气体、入口/出口压力和温度。
要获得5测量点NIST校准证书,请将后缀"-NIST5"添加到型号中(无额外费用)。
要获得10测量点NIST校准证书,请将后缀"-NIST10"添加到型号(需付额外费用)。
产品型号说明
(1) (2) (3) (4)
FMA-
选项描述
(1) 型号代码
选择
A21 代表 不带显示器的质量流量计
A22 代表 有控制阀的质量流量控制器
A23 代表 带显示屏的质量流量计
A24 代表 有显示和控制阀的质量流量控制器
(2) 量程代码
选择
00 代表 0-10 SCCM
01 代表 0-20 SCCM
02 代表 0-50 SCCM
03 代表 0-100 SCCM
04 代表 0-200 SCCM
05 代表 0-500 SCCM
06 代表 0-1 SLM
07 代表 0-2 SLM
08 代表 0-5 SLM
09 代表 0-10 SLM
10 代表 0-15 SLM
11 代表 0-20 SLM
12 代表 0-25 SLM
13 代表 0-30 SLM
14 代表 0-35 SLM
15 代表 0-40 SLM
16 代表 0-45 SLM
17 代表 0-50 SLM
18 代表 0-55 SLM
19 代表 0-60 SLM
20 代表 0-65 SLM
21 代表 0-70 SLM
22 代表 0-75 SLM
23 代表 0-100 SLM
(3) 可选316不锈钢阀体
选择
Nothing(leave field blank) 代表 标准体材料
-SS 代表 可选316不锈钢阀体
(4) 型号代码
选择
Nothing(leave field blank) 代表 在20 psig的标准模型的氮气或空气
(**) 代表 指定进气口/出口压力温度
FMA-A2107 FMA-A2306流量计 美国omega流量计