技术规格
H型:选配激光测头组;T型:选配接触测头组 U型:超高精度
仪器型号
QVH300
QVH400
QVH500
QVH600
仪器参数
测量范围(mm)
X
300
400
500
600
Y
Z
200
工作台(mm)
硬铝合金台面
500*500
600*600
700*600
900×600
玻璃台面
480*480
580*580
670*580
870×580
承重
50kg
影像及测量系统
测量速度
MAX:600mm/s
CCD
美国TEO彩色高分辨率摄像机800TV线
变焦物镜
全自动变倍:0.7-4.5X
视频放大分倍率
30-230X
物方视场
10.6-1.6mm
工作距离
82mm
显示分辨率
0.0001mm(U型:0.00001mm)
运动控制系统:四轴全闭环控制:三轴交流伺服马达全闭环控制,预压线性滑轨与研磨级滚珠螺杆驱动,步进马达同轴控制镜头组
重复性
1.5μm(U型:0.5μm)
测量精度
XYZ轴≦(1.5+L/150)um,Z轴(光学测量时)≦(5+L/200)um U型:XYZ轴≦(0.75+L/200)um
外形尺寸(mm)
1200*1000*1780
1300*1100*1780
1400*1100*1780
1500*1200*1780
仪器重量(kg)
700kg
800kg
900kg
1100kg
照明
可程控四环八区LED表面光及直轴轮廓冷光源(选配同轴冷光源),亮度可调
电源
220V±10%(AC) 50HZ 电流大于20A
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