聚焦离子束激光离子化纳米质谱成像系统 (FILMER) -纳米尺寸表面质谱成像 FILMER基于二次离子质谱技术,集成了聚焦离子束,扫描电子显微镜和激光器。 功能 ? 二次离子质谱 原理 用聚焦离子束溅射试样表面,收集和分析排出的二次离子; 数据采集 这些二次离子的质量/电荷比及质谱可确定元素,同位素,或分子组成; ?激光二次中性质谱(Laser-SNMS) 原理 用聚焦离子束溅射试样表面,使用激光共振电离大多数溅射中性原子; 数据采集 与二次离子质谱相同 ?聚焦离子束精细加工 可以通过连续Ga聚焦离子束连续溅射样品表面除去想要除去的部分; ?二次离子质谱及扫描电子显微镜观测 可实现二次离子质谱及扫描电子显微镜两种观测方式; 主要特点: 1. 高空间分辨率 □ 横向分辨率 < 40nm □ 质谱分辨率 m/Δm >7000@m/z=56 2. 可原位加工和分析,避免暴露于空气中 □ SEM小损伤观测,可定位值FIB相同位置; □ 可分析颗粒表面及横截面; 3. 可实现激光二次中性质谱 □ 与传统SIMS相比可显著改善信号灵敏度; □ 高灵敏度的有机化合物分析;
技术参数:
性能 |
| 原始束流 | 30kV Ga+ | 横向分辨率 | 40 nm | 测量范围 | 500μm ~ 500nm | 质谱分析 | 飞行时间(TOF) | 质谱分辨率(m/z = 56) | m/Δm = 7000 | 激光器 | 飞秒激光器 | 激光波长 | 1030nm, 515nm, 355 nm, 257nm | 激光能量 | 10W / 1mJ (1030nm) | 扫描电子显微镜 | 30kV ~ 5 kV | 扫描电子显微镜横向分辨率 | <30nm | 样品尺寸 | X1cm×Y1cm×Z3mm | 机械操作 | 5轴 | 可选 | 电荷中和装置, 转移容器,等 |
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