等离子刻蚀清洗机（通用仪器）
等离子刻蚀清洗机（通用仪器）通过等离子体与固体表面的相互作用，消除固体表面的有机污染物，固体如：金属、陶瓷、玻璃、硅片等等，同时可以用等离子处理系统对样品表面进行 处理，改善样品表面的特性，如亲水/疏水特性，表面自由能，以及表面的吸附/粘附特性等等。
应用领域：
仪器性能：
技术参数
电镜有机样本的刻蚀尺寸 | 450mm(W)x350mm(D)x300mm(H) |
工作腔室 | 派热克斯玻璃 150mm(L)x100mm(Dia.) |
重量 | 25Kg |
等离子体输出 | Z大150w，13.56 MHz |
真空度 | >ATM to 1 x 10-5mbar；通常 0.5 mbar to 1.0 mbar |
时间控制 | Z长可设置99小时59分钟 |
双重气流控制 | 双重针阀气流控制，可选1种或2种气体（校准 5-100cm3/min air at A.T.P) |
电源 | 230 V， 50Hz (3 amp Max) |
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