天津市尚亚科技发展有限公司
:邢
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NSC15/AlBS
硅刻蚀探针应用于获得形貌像和对材质敏感的反差像。
NSC15/AlBS 针尖参数.
通常针尖半径, nm
<10
针尖锥度*, °
40
针尖总高度, µm
20 - 25
探针材料
N型硅(掺磷)
探针总体阻抗**
0.01~0.06欧姆?厘米
* 离针尖Z后200 nm处的锥角度可能小于40°* 硅表面有不导电的厚度为1.4nm的自然氧化薄膜层
NSC15/AlBS 悬臂参数.
悬臂长度, 1±5 µm
125
悬臂宽度, w±3 µm
35
探针半径, nm
10
力常数, N/m
45
共振频率, kHz
325
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