小量程的光学影像测量仪采用了花岗岩底座保证了高的稳定性,X 轴快速释放开关可用于X 轴的快速移动。 高精度工作台ü - 花岗岩底座ü - 光栅尺分辨率:0.05umü - 高分辨率CCD 相机ü -ü 固定倍率(0.5X、1X、2X、4X)或手动变焦镜头(0.7-4.5X 分五个固定倍率) - 透射光(绿色)和表面环形光均为LED 光源ü ü - 测量范围X/Y/Z:200x100x150mm - 精度XY(E2)=3.0um+L/60(L为mm)ü -ü 精度Z(E1)=5.9um+L/60(L 为mm) - 工作台承重:10Kgü - TESA Vista 或Pcdmisü 软件
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