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超纯水是一种纯度极高的水,是指将水中的导电介质几乎完全去除,同时把不离解的气体、胶体以及有机物(包括细菌)也去除至很低程度的水。其电导率一般为0.1~0.055uS/cm,电阻率(25℃)>10x106Ω/cm ,含盐量<0.1㎎/L.理想纯水(理论上)为0.055 uS/cm,电阻率(25℃)为18.3x106Ω/cm
超纯水机的反渗透原理是在原水一方施加比自然渗透压力更大的压力,使水分子由浓度高的一方逆渗透到浓度低的一方 。由于反渗透膜的孔径远远小于病毒和细菌的几百倍乃至上千倍以上,故各种病毒,细菌, 重金属,固体可溶物,污染有机物,钙þ离子等根本无法通过反渗透膜,从而达到水质净化的目的。
超纯水设备采用多介质过滤器、活性炭过滤器及保安过滤器作为前级处理,有效除去原水中的悬浮物、泥砂、微粒、有机硅胶体、有机物、异ζ、余氯等杂质,使经过处理后的原水符合反渗透的进水要求,然后进入程控反渗透装置去除水中的溶解性盐类物质、细菌、热源等,然后使用离子交换混床进行深度脱盐,使产水电阻率达到15~18.2MΩ.cm,后处理采用紫外线杀菌器和精密过滤器隔绝细菌的二次污染,产水可达到国家电子级水的技术指标GB 11446.1-1997