OptiGauge-SLS 真空镀膜测厚仪激光测厚仪在线测厚仪_详细资料

产品信息

Lumetrics 厚度测量系统的测量原理是采用了短相干光源的迈克尔逊干涉仪。
应用领域：
1.光电子行业：
（1）透镜ZX厚及胶合间隙测量
（2）单件元件厚度控制（特别适用于红外材料，测量厚度控制平行度）
（3）平板玻璃厚度测试：浮法玻璃、液晶平板
2.薄膜行业：测量塑料薄膜的厚
3.YL行业：测量滴液管、塑料管壁厚、直径等
Lumetrics 厚度测量系统优势
1.在线与离线同时测量；
2.不仅可以测量总厚度，还可以单独测量每层厚度，Z多可以测试20层
3.测试速度快，稳定性好。
OptiGauge SLS™
OptiGauge MLS™
OptiGauge EMS™
测量范围
12μm to 5mm
12µm to 12mm
12µm to 50mm
Z多可测量层数
1
20
20
精度
±0.1μm
±0.1µm
±0.1µm
重复精度
0.1μm 1σ
0.1µm 1σ
0.1µm 1σ
测量时间
50Hz
50Hz Standard, 100Hz and 200Hz optional
20Hz
光源
1310nm SLED – 45 nm wide
1310nm SLED – 45 nm wide
1310nm SLED – 45 nm wide
测量头工作距离
25mm and 50m
25mm and 50mm
50mm & 15
光纤长度
3M standard, up to 1000M Maximum
3M standard, up to 1000M Maximum
3M standard, up to 1000M Maximum
想了解更详细的信息，请王

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OptiGauge SLS™	OptiGauge MLS™	OptiGauge EMS™
测量范围	12μm to 5mm	12µm to 12mm	12µm to 50mm
Z多可测量层数	1	20	20
精度	±0.1μm	±0.1µm	±0.1µm
重复精度	0.1μm 1σ	0.1µm 1σ	0.1µm 1σ
测量时间	50Hz	50Hz Standard, 100Hz and 200Hz optional	20Hz
光源	1310nm SLED – 45 nm wide	1310nm SLED – 45 nm wide	1310nm SLED – 45 nm wide
测量头工作距离	25mm and 50m	25mm and 50mm	50mm & 15
光纤长度	3M standard, up to 1000M Maximum	3M standard, up to 1000M Maximum	3M standard, up to 1000M Maximum