超高精影像测量机的性能参数
型号 ULTRA QV404 PRO
测量范围 X 轴 400mm
Y 轴 400mm
Z 轴 200mm
分辨率 0.01µm
高灵敏度 CCD 照相机 黑 & 白
精度 *(20ºC±0.2ºC)
E1XY (0.25+L/1000)µm
E1Z (1.5+2L/1000)µm
[(1+2L/1000)µm: 10 - 60mm]
E2XY (0.5+2L/1000)µm
超高精影像测量机Z大驱动速度 (X/Y/Z 轴) 150mm/sec
照明(PRL: 可编程环形照明)
表面 卤素灯
轮廓 卤素灯
PRL 卤素灯
放大倍率转换系统 可编程电动转盘
工作台玻璃尺寸 493 x 551mm
台面Z大承重 40kg
尺寸 (W x D x H)** 1200 x 1735 x 1910mm
重量 ** 2150kg