便携式共聚焦显微系统应用
μsurf系列用来测量表面物理形貌,进行微纳米尺度的三维形貌分析,如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓(纵深、宽度、曲率、角度)、表面粗糙度等。μsurf 主要对大型样品进行测试,在以下几个行业中被众多知名企业广泛使用:
汽车行业
印刷和造纸行业
钢铁行业
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便携式共聚焦显微系统技术参数
LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
测量时间:5~10秒
测量原理:非接触、共聚焦、可移动,可以检测大型的物体
X/Y方向移动范围:50mmX50mm,马达驱动,X/Y方向分辨率:0.3μm
Z方向移动范围:35mm
Z方向测量范围:250μm,Z方向分辨率:< 10nm
物镜:10X、20X、50X、100X(可选)
计算机:高性能计算机控制系统,功能强大且全面的软件,有拼接功能
工作电源:90-265 V, 50-60 Hz, input < 50 W(也可用电池做电源)
材质:钢铁、橡胶、大理石
外型尺寸:380*110*115mm
重量:5.5KG(不含防震拉杆箱)
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)