| Model | 303VSAH | 463VSAH | 713VSAH | 963VSAH | 1273VSAH |
| X-Y-Z 测量范围 | 305 X 305 X 200（mm） (12" X 12" X 8") | 460 X 305 X 200（mm） (18" X 12" X 8") | 711 X 610 X 200（mm） (28" X 24" X 8") | 965 X 760 X 200（mm） （38" X 30" X 8") | 1270 X 915 X 200（mm） (50" X 36" X 8") |
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| 外形尺寸（宽） | 87cm（34“） | 102cm（40“） | 127cm（50“） | 152cm（60“） | 217cm（85“） |
| 外形尺寸（长） | 102cm（40”） | 102cm（40“） | 163cm（64“） | 188cm（74“） | 235cm（93“） |
| 外形尺寸（高） | 173cm（68“） | 173cm（68“） | 173cm（68“） | 186cm（73“） | 180cm（71“） |
包装重量
净重(Kg) | 885(1950 lbs)
590(1300 lbs) | 1043(2300 lbs)
726(1600 lbs) | 1630(3600 lbs)
1225(2700 lbs) | 2041(4500 lbs)
1588(3500 lbs) | 2994(6600 lbs)
2450(5400 lbs) |
| X-Y移动速 | 760 mm (30") 每秒 |
| X-Y精度 | E2=(1.0+5L/1000)μm,L= 测量长度（mm）用像素值小于2μm 的校正件在20℃下测量 |
| Z 轴参数 | 行程200mm(8")，速度150mm(6") 每秒重复精度±3μm(±0.00012") 在高倍镜下 |
| Z 精度 | E1=(1.2+5L/1000)μm, L= 测量长度（mm） 使用像素值小于2μm 的校正件在20℃下测量 |
| 环境要求 | 温度范围：20±2°C，相对湿度：30% -80% 气源：85L/m(3CFM)7—8.25Bar(100-120 PSI) |
| 控制系统 | 基于windows 的工控系统 |
| 电源参数 | 输入电压：115/230VAC, 输入电流：50/60Hz, 功率：1.0KW
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