一、产品简介:
1200℃单温区三路气体CVD系统(配快速接头)主要由:1200型单温区豪华型管式炉、 三路气体质子流量计、CY-4C真空泵和不锈钢真空管道、等组成;气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强,内壁洁净,不易污染气体.气路接头采用全不锈 钢双卡套快速接头,方便连接,不易泄漏.。广泛用于各种反应温度在1100℃左右的CVD实验;也可用于:真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电 池材料制备等多研究领域。
二、主要特点:
1.该炉体采用上下“分-合”结构,易于取放炉管;
2.炉膛内部设计有对流栅格,炉体内部气流容易形成上下对流循环,有利于炉温平衡,温场均匀。
3.整个炉体采用双层内胆式结构,中间有气隙隔离,即使炉膛温度高达1100℃,炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
4.炉膛采用进口节能材料制作,整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3,节能环保。
5.炉膛加热元件呈圆周状轴向均匀分布,并且发热元件已做内嵌式固化,加热时热能辐射均匀温和。
6.炉体配有:输出电压和输出电流监测表,炉子加热状态一目了然。
7.每台炉子出厂时:热点偶都已做严格的测温校验,不合格品严禁出厂。
8.每台炉子的控温系统出厂前都经过低温,中温,高温的老化测试,确保产品质量稳定可靠。
9.气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强,内壁洁净,不易污染气体.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接,不易泄漏.可以外接三种气体。
10.真空泵为双击旋片式,可以长时间连续工作,并配有油气过滤器,可以很好的净化油气,防止污染。
三、技术参数:
1 | 产品名称 | 1200型单温区三路气体质子流量计豪华型CVD真空管式炉 |
2 | 常规型号 | CY-O1200-50IT-3ZV10 |
3 | CY-O1200-60IT-3ZV10 |
4 | CY-O1200-80IT-3ZV10 |
5 | CY-O1200-100IT-3ZV10 |
6 | 炉膛模式 | 开启式 |
7 | 显示模式 | 高亮数码管显示(LED) |
8 | 炉膛材料 | 进口纤维 |
9 | 加热元件 | 进口合金加热丝 |
10 | 极限温度 | 1200℃ |
11 | 工作温度 | ≤1150℃ |
12 | 升温速率 | ≤20℃(建议:10℃/min) |
13 | 加热温区 | 单温区 |
14 | 温区长度 | 440mm |
15 | 恒温区长 | 200mm |
16 | 炉管材质 | 高纯石英 |
17 | 炉管常规直径 | 50mm |
18 | 60mm |
19 | 80mm |
20 | 100mm |
21 | 炉管长度 | 1000mm |
22 | 密封方式 | 不锈钢真空法兰 |
23 | 气 密 性 | 真空法兰和石英炉管的气密性Z高可达4.03×10-3Pa |
24 | 控制模式 | 智能PID多段程序控温 |
25 | 控温精度 | ±1℃ |
26 | 温度曲线 | 多段"时间—温度曲线"任意可设 |
27 | 预存曲线 | 可预存多条温度曲线 |
28 | 电流监控 | 指针式电流计 |
29 | 电压监控 | 指针式电压计 |
30 | 超温报警 | 有 |
31 | 过流保护 | 有 |
32 | 断偶提示 | 有 |
33 | 测温元件 | K型热电偶 |
34 | 电气认证 | CE认证 |
35 | 供电电源 | 220V 50Hz~60Hz |
36 | 整机功率 | 2.5KW |
37 | 气体通道 | 可连接3种气源 |
38 | 流 量 计 | 质子流量计 |
39 | A路量程 | 10~100ml/min |
40 | B路量程 | 16~160ml/min |
41 | C路量程 | 25~250ml/min |
42 | 气路压力 | -0.1~0.15 MPa |
43 | 系统真空 | 5~10Pa(需要达到其它真空度时,需选配不同的抽真空装置) |
| 泵路链接 | KF16不锈钢波纹管、KF16卡箍、KF16挡板阀 |
| 真 空 计 | 标准配置机械真空计,也可选配电子真空计 |
44 | 售后服务 | 15个月质保,终身保修 |
45 | 包装形式 | 三合板木质包装箱,包装箱不回收 |
46 | 随机配件 | 石英炉管、真空法兰、炉管堵塞、O型密封圈、防护手套、坩埚炉钩、说明书、聚四氟管、不锈钢卡套接头、不锈钢波纹管、KF转接头、5mm内六角扳手。 |
47 | 整套尺寸 | 左右:700mm;前后:600mm;高度:1190mm |