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下面介绍真空镀膜机抽气慢原因及平时保养:
从粗抽开始检查,如果抽的时间就长,那就是滑阀泵有问题,或前面的管道有漏气,如果粗抽没问题就是扩散泵的事了,一般是清理泵腔换掉泵油
长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空:
1、蒸发室有很多粉尘(应清冼)
2、扩散泵很久未换油(应清冼换油)
3、前级泵反压强太大,机械泵真空度太低(应清冼换油)
4、各动密封胶圈损坏、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏(更换胶圈) 5、各引入座螺钉、螺母有无松动现象(重新压紧)
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