BDCY15-5系列离子束溅射薄膜压力传感器
BDCY15-5系列离子束溅射薄膜压力传感器,应用先进的离子束溅射和离子束刻蚀工艺,将应变电桥直接制作在金属测压膜片上。由于不用传统的胶粘工艺,显著改善了应用式传感器的长期稳定性及抗蠕变特性,使产品使用的温度范围大为扩展。
目前该传感器广泛应用于某新型大推力低温发动机低温介质(液氮液氧)的压力测量,具有体积小、精度高、稳定性好、使用温度范围宽、温度漂移小、电桥阻抗高、抗振动和抗冲击性强等优点,可用于高温及低温等恶劣的环境。
技术参数
1. 灵敏性:1.5±0.2mv/V
2. 量程:0~1-150Mpa(特殊要求可定做)
3. 准确度:±0.1、±0.2、±0.5(%F·S)
4. 稳定性:±0.1%FS/年
5. 介质温度:-196℃×+175℃
6. 温度系数:零点:±1~2±10-4/℃;灵敏度:±1~2±10-4/℃
7. 桥臂电阻:1~3KΩ
8. 接液材料:膜片17-4PH,过程连接件1Cr18Ni9Ti
9. 过载:150%FS
10. 加速度:7.5g 三向
11. 冲击、振动、高低温及温热:按GJB150相关标准执行
1. 崔瑞
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