ICPMS电感耦合等离子体发射质谱仪

• 配置新的第三代ORS3碰撞反应池系统，增强了氦模式的性能，消除干扰的能力比以前更好。
• 如去离子水、过氧化物，等材料中的Li、Na、K、Ca检测提供行业标准方法。
• 为所有常用的的半导体应用设置了内置式调谐和方法模板，包括碰撞反应池模式以及冷等离子体模式，以确保获得高质量的数据和低的背景等效浓度（BECs）。
• 为所有常见的半导体样品类型提供标准的操作规程，简化方法建立的过程
• 较低的热量输出和降低排气量，重新设计了冷却空气流路系统—这对超净室安装的仪器尤为重要。
• 功能强大的新MassHunter软件平台增强数据分析和报告功能
• 新型紧凑设计—世界上小的商品化ICP-MS，为您节约了宝贵的工作台面和实验室空间

ICPMS电感耦合等离子体发射质谱仪

为是为半导体行业高纯材料分析而设计的超净化系统，针对的是 ppt 级半导体行业超痕量元素。额外配置有GX的样品引入系统，五路ICP离子源气路管线和两路碰撞/反应池气体管线（ORS3）的反应性气体管路是的标准配置）－为目标元素和样品类型均十分确定的半导体行业样品提供的干扰消除能力。

     保留和升级了无与伦比的STS冷等离子体能力，为高纯材料中极易电离的目标元素的测定提供了行业中的性能，并且STS冷等离子体仍是业内可以用同一条件同时分析半导体行业要求的多种目标元素的技术。

ICPMS电感耦合等离子体发射质谱仪