设置范围:10 ~ 150 Torr
超高纯全焊接结构压力开关
完全密封,零参考真空,二次密封隔离
工厂设定/避免任何不正当的改动
电子束焊接结构
电子束焊接零参考真空
膜片与本体电子束完全焊接,高可靠性及长寿命保证
负偏压盘片式(贝氏)弹簧以保证更加优异的重复特性及抗震动/颤动特性
安装位置无关
主要技术指标
适用介质:高纯气体和液体(材料兼容)
类型:工厂设定
设定范围:10 ~ 150 Torr
触发值:20 Torr + 5%的设定点值
重复精度:± 5 Torr + 2%的设定点值
保证压力:0 psia - 15 psig
使用温度范围:0° ~ 130°F (-18°~ 55°C)
精密电子抛光:5 Ra 或 10 Ra
介质所接触材质:316L VIM-VAR, Inconel 或 Hastelloy C-276
管路连接形式:1/4" VCR单端连接; 1/4" VCR直通式连接
表面安装
1.125"/1.5 "C" Seal
1.125"/1.5 "W" Seal
电子信号连接形式:导线,卡式,9-针
Z小周期寿命:100万次
安全认证:UL, CE
质量保证:36个月