本系统主要有真空机械泵、分子泵、真空测量规、真空阀门和机架组成。
本系统为预抽高真空系统,极限真空5.0E -5Pa.主要特点,更换工件或充气的情况下无需停止系统,可多工位同时预抽。
主要用途:镀膜机真空系统,可去除机架,灵活安装。
真空炉真空系统
激光管多工位预抽真空系统
太阳能多工位预抽真空系统
半导体多工位预抽真空系统
优 点:可实现半自动电脑程式控制;启动时间短、噪音低、无污染。带有暴大气预警系统,体积小,机架带有脚轮移动灵活方便,可根据客户需要做成多种外形以便用于不同工作场地。管道连接件也可根据客户需要制作成多种大小不一、连接方式多样化满足多种真空系统所需。
注:可来样订制,或说明所需外型、带抽工件情况、工作场地情况等一对一订制。