TCS208F 气体热导传感器分析仪 TCS208F 气体热导传感器分析仪_详细资料

产品信息 测量精度高 灵敏度高 集成温度补偿，漂移小 体积小，响应速度快 可以测量微小的气体容量 高性价比 TO8封装，抗冲击能力强 详细介绍： 1.       Z大限值 Z小 典型 Z大 单位 热功率P（Rm1+Rm2）： — — 30 mW 测量温度Tm — — 180 °C 环境温度 -20 — +85 °C 气体压力^（¹^） — — 200 bar 注：由于膜的热时间常数短，短时间的加过高的热功率会毁坏传感器。 2.       参数说明： Z小 典型 Z大 单位 电阻，Rm1，Rm2（Tm=25°C） 92 100 115 ? 电阻，Rt1，Rt2 220 240 275 ? 商，Rtx / （ Rm1+Rm2 ），x∈{1,2} 1.13 1.2 1.27 1 阻抗差，Rm1 - Rm2 -2.0 — +2.0 ? α=温度系数，（ Rm, Rt ） | 20 - 100°C 4.8^（²^） 5.5 5.9 10-3·K^-1 G =几何系数^（³^） — 3.6 — mm τm =膜的热时间常数 — <5 — ms τ_diffusion =气体交换的时间常数 — <100 — ms 漂移（ Rxy ） | x∈{m,t} ; y∈{1,2} — 0.001 0.01 %/week 散射结构的体积 — 0.2 — mm³ 保持干净的周围环境空间大小 — 100 — mm³ 基础材料 硅,采用蚀刻技术获得微观结构 尺寸结构: 包括底座 不包括底座 3mm × 3mm × 1mm 13mm Ø × 15.4mm 暴露在空气中的材料 Si, SiOxNy, 金, 环氧材料 注释: （1）根据供应商的说明书对于适当的设备提供的压力参数 （2） α的Z小值只适用于与低规格电压辅助源结合的情况. 产品会不断的改良使它更接近于DIN 43760的规格. （3）因数G是由内部的传感器的机构决定的. 传感器的机械测试: 振动: 符合IEC 68-2-6 附录B （1982） 10圈,±1.5mm; 20g; 10..2000Hz; 1阶/分钟 冲击: 符合IEC 68-2-27 修正#1 （82年10月）,径向和轴向各10次, 100g; 7.5ms / 300g; 2.5ms / 900g; 1.2ms.

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