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质量流量计/质量流量控制器 型号;HA-S49-33/MT
精度:1%- 全不锈钢结构- 各种气体可标定- 采用先进的拉伸切割技术,生产专用的传感器
HA-S49-33/MT质量流量计/质量流量控制器详细技术参数】
项目型号
HA-S49-33/MT
HA-S49-33M/MT
流量范围
0~5SCCM......35SLM
准确度(%F·s)
±1.0
±2.0
线性(%F·s)
±0.5~1
±0.5~2
重复精度(%F·s)
±0.2
响应时间(sec)
电特性:10 气特性:1~2
电特性:10 气特性:1~4
工作压力范围(MPa)
0.05~0.3
耐力(MPa)
3
工作环境温度(℃)
5~4.5
输入输出信号
0~+5.00V
电源
+15V50mA -15V200mA
外型尺寸(mm)
134×134×38
重量(kg)
1.25
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