YZ-2010 宇正YZ-2010石英管式微波等离子体装置

概述
宇正YZ-2010石英管式微波等离子体装置由合肥宇正等离子体技术有限公司研发生产，技术先进，性能稳定。本装置利用微波激励气体放电在石英管中产生稳态等离子体，等离子体产生效率高。样品装卸简捷，操作方便,维护简单。输入不同的工作气体，可进行薄膜材料的制备、化学合成、表面刻蚀、等离子体烧结等多方面的实验，可广泛用于物理、化学、材料等领域。

技术指标与特性
1） 装置常规采用380V三相电源。按用户要求亦可采用220V单相电源。
2） 微波发生器由带有水冷磁控管的激励腔和微波源供电电源组成。微波频率2.45GHz。微波功率0－800W连续可调（Z大功率可达1200W）。带有微波输出功率显示（精确至1W）和反射指示。可长时间连续工作。微波耦合腔为水冷夹套结构，满足各类实验要求。
3） 等离子体反应室为内径ф50mm的石英管真空室，顶部观察窗和正与左侧面的观察网孔方便进行各种实验观察。
4） 基片台位置可调节，并方便拆卸，装卸区直径ф50mm，并可选配石英基片台与石墨基片台。基片台为微波等离子体自加热，温度自室温至1200℃。
5） 配备冷却水循环系统，无水源要求。确保装置高功率下长时间安全稳定运行。
6） 两路气体输入，在等离子体发生室顶部ZX输入工作气体。
7） 真空度显示（精确至1Pa）。                               
8） 气体流量在较大范围可调并显示（精确至0.01L/min）。      
9） 无电极放电，避免了电极污染，能量转换效率高。