仪器特点
◆超精密全自动测量，四轴CNC控制；
◆精密花岗岩机台，精度高，稳定性好；
◆三轴THK精密线性滑轨、精密传动系统；
◆ Renishaw开放式光栅尺，精度高、稳定性好；
◆进口自动变倍光学镜头，可实现自动变倍测量；
◆可程控6环8区环形表面光源，LED轮廓光源，同轴光源；
◆自动对焦测高，可加装接触式测头；
◆提供多种行程规格配置，如222、322、432、542等。
技术参数
| 型号 | VMU222 | VMU322 | VMU432 | VMU542 |
| 行程（mm） | 200×200×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 |
| 外部尺寸（mm） | 1040×740×1620 | 1040×740×1620 | 1240×800×1620 | 1440×1000×1620 |
| 重量（kg） | 240 | 250 | 310 | 400 |
| 承重（kg） | 25 | 25 | 25 | 25 |
| 测量精度 | XY轴* | E2=（1.6+L/300）µm | E2=（2.0+L/300）µm |
| Z轴** | E1=（5.0+L/200）µm |
| 速度 | XY轴 | 200mm/S |
| Z轴 | 100mm/S |
| 光栅尺 | Renishaw光栅尺 |
| CCD | 1/2"CCD黑白/彩色 |
| 光源 | 轮廓光 | LED冷光源，256级亮度可调 |
| 表面光 | 6环8区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调 |
| 同轴光 | LED冷光源，256级亮度可调 |
| 光学系统*** | 6.5:1可变倍，放大倍率29～163或58～326 |
| 软件 | Vispec测量软件 |
| 运动控制 | 自主的CNC直流伺服系统 |
| 保修期 | 1年 |
| 工作环境 | 温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80% |
| 振动<0.002g，低于15Hz |
| 电源 | 220V/50Hz/10A |
*L表示测量长度，以毫米为单位。
**Z轴的机械精度，聚焦的精度与工件表面有很大关系。
***放大倍率为近似值，具体值与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关。
应用行业
机械、电子、模具、注塑、五金、橡胶、低压电器，磁性材料、精密五金、精密冲压、接插件、连接器、端子、手机、家电、计算机（电脑）、液晶电视（LCD）、印刷电路板（线路板、PCB）、汽车、YL器械、钟表、仪器仪表等。
测量对象
LCD、FPC、PCB、线路板、螺丝、弹簧、钟表、手表、仪表、接插件（连接器、接线端子）、齿轮、凸轮、螺纹、半径样板、螺纹样板、电线电缆、刀具、轴承、五金件、冲压件、筛网、试验筛、水泥筛、网板（钢网、SMT模板）等。
测量元素
长度、宽度、高度、孔距、间距、Pin间距、厚度、圆弧、直径、半径、槽、角度、R角等。
