氦气纯化器
Valco气体纯化器的纯化基质是一种无挥发性、有加热活化的吸附性合金,此稳定的合金包含在焊接组件中,所以可以安全简单地使用。吸附剂粒子表面有一层氧化膜需通过加热活化,活化过程必须在真空或惰性气体环境下完成,这样可允许氦气在其间自由扩散,防止氧气钝化层的形成。氦气和氮气纯化器有一自动调控的特征设计,它保持吸附剂材料于Z适温度,消除了热量流失的可能性。
氦气纯化器
* 可纯化气体:He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn
* Z高操作压强:1000 psig
* 可去除杂质:出口杂质低于10ppb H2O、H2、O2、N2、NO、NH3、CO、CO2和CH4,此基于10ppm入口杂质总量,其它去除杂质包括CF4、CCl4、SiH4 和轻质烃。
* 未被去除杂质:He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn
氮气纯化器
* 可纯化气体:只有N2
* Z高操作压强:1000 psig
* 可去除杂质:出口杂质低于10ppb H2O、H2、O2、NO、NH3、CO、CO2和CH4,此基于10ppm入口杂质总量,其它去除杂质包括CF4、CCl4、SiH4 和轻质烃。
* 未被去除杂质:He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn、N2
种类 | 电压 | 标准纯化器 货号 | 可换纯化芯 货号 | 可换电源供应 货号 |
| 110 VAC | HP2 | I-23572HP2 | PS24VDC-CE |
| 230 VAC | HP2-220 | PS24VDC-CE-220 |
氮气纯化器 | 110 VAC | NP2 | I-23572NP2 | PS24VDC-CE |
| 230 VAC | NP2-220 | PS24VDC-CE-220 |