氩气净化机的技术参数
对原料氩气要求
一般瓶装纯氩,液氩、控制较好的管道氩气。
杂质要求: O2≤1000PPm, H2O≤1000PPm。
输出纯气
纯度:99.9998%
杂质含量:
O2≤0.5PPm,
H2O≤1PPm(即露点≤-76℃),
N2≤0.5PPm(与GYA-4CN和GYA-4QN机型)
CO+CO2≤0.1PPm,
S、P的氧化物≤0.1PPm。
尘埃粒子数(≥0.3μm)3-5个/升。
工作压力:0.4-1.5MPa。
处理气量:4NM3/h。
设备特点
除氧催化剂活性高,工作温度低,设备更节能。
再生不用氢气,只需少量氩气再生,故安全可靠。
阀门全为不锈钢波纹管阀门,几乎无泄漏,故设备更可靠。
本机为双式结构,一组工作,另一组再生备用,故能长期连续供气,一台能顶两台单式净化机使用。
本机可再生反复使用,设备寿命长,设计使用寿命大于10年。
设备全为半自动或全自动,操作更简单。