产品简介 GDS/KDY-4型四探针电阻率测试仪是严格按照硅片电阻率测量的国际标准(ASTM F84)及国家标准设计制造,并针对目前常用的四探针电阻率测试仪存在的问题加以改进。 整套仪器有如下特点: 1、配有双数字表:一块数字表在测量显示硅片电阻率的同时,另一块数字表适时监测全过程中的电流变化,使操作更简便,测量更精确。 数字电压表量程:0—199.9mV 灵敏度:100μV 输入阻抗:1000ΜΩ 基本误差±(0.4-0.5%读数+0.1%满度) 2、可测电阻率范围:10—3 —1.9×103Ω·cm。 可测方块电阻范围:10—2 —1.9×104Ω/□。 3、设有电压表自动复零功能,当四探针头1、4探针间未有测量电流流过时,电压表指零,只有1、4探针接触到硅片,测量电流渡过单晶时,电压表才指示2、3探针间的电压(即电阻率)值,避免空间杂散电波对测量的干扰。 4、流经硅片的测量电流由高度稳定(万分之五精度)的特制恒流源提供,不受气候条件的影响,整机测量精度<3%。 电流量程分五档:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。 5、仪器采用触点电阻更低(<5mΩ)、使用寿命更长的转换开头及继电器(>10万次),在绝缘电阻、电流容量方面留有更大的安全系数,提高了测试仪的可靠性和使用寿命。 6、四探针头采用国际上先进的红宝石轴套导向结构,使探针的游移率减小,测量重复性提高(国家知识产权局已于2005.02.02授予权,号:ZL03274755.1)。 |