IDS-108 供应北京工业大学工业测量显微镜、北京工业大学测量显微镜参数、北京工业大..._详细资料

产品信息

IDS-108工业测量显微镜

测量显微镜IDS-108工业测量显微镜

测量显微镜广泛应用于半导体,电子工业进行晶体，集成电路的检验和精确测量。配备有冷光源光纤反射照明，成像和观察系统，偏光装置。

l        无限远光学系统,管镜焦距200mm

l        铰链式三目镜筒,30°倾斜，瞳距55-75mm

l        高眼点、视场目镜WF10X/22

l        五孔物镜转换器

l        长工作距离平场复消色差物镜

Plan Apo 2X/0.055   W.D. 34.6mm 分辨率5μm,

Plan Apo 5X/0.14     W.D. 45mm     分辨率2μm,

Plan Apo 10X/0.28  W.D. 34mm     分辨率1μm,

Plan Apo 20X/0.29   W.D. 30.8mm 分辨率1μm

Plan Apo 50X/0.42   W.D. 20.5mm 分辨率0.7μm

l        调焦系统同轴粗微调焦机构,微动格值0.002mm

l        载物台  6″x8″双层活动平台,移动行程153x204mm

l        三维测量系统

   分辨率： 1μm

   测量精度:  ±（2+L/200）μm

   重复定位精度:  2μm

   照明系统  Illumination  System

l        冷光源光纤反射照明器：12V150W，特别明亮清晰

l        选配：

   完善和全面的测量软件

--------完整的几何量测（如:点,线,圆,弧,角度等）

--------坐标系的设定，摆正,旋转

--------显示方式多样化；语言的转换，公英制单位的转换,角度的转换

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