Hyper MF特点:
高精度XY测量精度为(0.9+3L/1000)um。
可选择LAF(激光自动对焦)功能。
良好的操作性能和重复精度。
三轴电动控制。
标配电动自动聚焦装置。
技术参数:
观察图像:正像
光管:单目目镜或双目目镜(可选俯角:25度)十字投影法,带有TV插板,光通比(目镜/TV插板)
目镜:10X,15X,20X
透射照明
光源:卤素灯泡(12V,100W)(光纤冷光照明)
光学系统:带有可调整光圈的远心照明系统
功能:光强度可调,100极亮度调整
光源:卤素灯泡(12V,100W)
光学系统:带有可调整光圈的远心照明系统
功能:光强度可调,100极亮度调整
数据输出:通过RS-2接口
电源:100/110/120/
重量:250kg(主机)14kg(电源装置)
性能参数:
型号:Hyper MF-B2515B
观察类型:BF
XY工作台行程范围:250X150mm
测量装置:线性编码器
分辨率:0.01um
测量精度:(20度):(0.9+3L/1000)um,L=XY轴无负载测量长度(mm)
驱动系统:(XYZ轴)带操作杆的电动驱动控制
XY工作台面尺寸:460x350mm
载物玻璃有效尺寸:300x200mm
旋转功能:±3度
台面Z大承重:30kg
Z大工件高度:150mm