MS2技术参数:
测量范围:100/50 x 50 x 50
驱动:步进电机
分辨率:0.0001mm
测量精度:1.5um + 0.005xLum (L 单位mm)
Z大载重8kg,机器重量25kg.
MS2技术参数
测量范围:150/100 x 100 x 50
测量物镜:2:1,5:1,10:1,20:1,50:1,
测量软件OMS 或 IMS
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