主机 规格 |
LSM部分 | 光源、检出系统 | 光源:405 nm半导体激光、检出系统:光电倍增管 |
总倍率 | 108~17,280X |
变焦 | 光学变焦:1~8X |
测量 | 平面测量 | 重复性 | 100x : 3σn-1=0.02μm、50x:3σn-1=0.04μm、20x:3σn-1=0.1μm |
正确性 | 测量值的±2%以内 |
高度测量 | 方式 | 物镜转换器上下驱动方式 |
行程 | 10mm |
内置比例尺 | 0.8nm |
移动分辨率 | 10nm |
显示分辨率 | 1nm |
重复性 | 100x :σn-1= 0.012μm、50x:σn-1=0.012μm、20x:σn-1=0.04μm |
正确性 | 0.2+L/100 μm以下(L=测量长度) |
彩色观察部分 | 光源、检出系统 | 光源:白色LED、检出系统:1/1.8英寸200万像素单片CCD |
变焦 | 码变焦:1~8X |
物镜转换器 | 6孔电动物镜转换器 |
微分干涉单元 | 微分干涉滑片:U-DICR、内置偏振光片单元 |
物镜 | 明视场平面半消色差透镜5X LEXT专用平面复消色差透镜20X、50X、100X |
Z对焦部分行程 | 76 mm |
XY载物台 | 100 x 100 mm(电动载物台) |
SPM部分 | 运行模式 | 接触模式、动态模式、相位模式、电流模式*、表面电位模式(KFM)*、磁力模式(MFM)* |
位移检出系统 | 光杠杆法 |
光源 | 659 nm半导体激光 |
检出设备 | 光电检测器 |
Z大扫描范围 | X-Y:Z大 30 μm x 30 μm、Z:Z大 4.6 μm |
安装微悬臂 | 在盒式微悬臂支架上一键安装。使用微悬臂安装位置调整专用工装夹具预对位,更换支架时无需光学调整。 |
系统 | 总重量 | 约440 kg(不包含电脑桌) |
I额定输入 | 100-120 V/220-240 V、600 VA、50/60 Hz |