SMC真空房间无杆气缸,SMC无杆气缸低粉塵產生量 (每行程周期衹產生 0.1 粒大於 0.1μm 之粉塵)- 低泄漏量 (少於 1.3 x 10-7 Pa•m3/sec)- 正弦緩衝設計,減低衝擊- 滑塊與缸體並無接觸,零摩擦力
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