其工作原理是利用光栅绕射所制成的量测系统俗称光学尺,其光源经过瞄准透镜而投射到游动刻度尺和主刻度尺,藉其光波产生Moire条纹明暗讯号之原理,由光电管接收其信号,经放大及修正后即可显示出来,其系统及输出信号情形。
操作:
1、量测前准备:
(a)检查空气轴承压力是否足够
(b)安装工件
2、测头选择及安装:
(a)将适当之测头装于Z轴承接器
(b)检视Z轴是否会自动滑落(否则应调整红色压力平衡调整阀)
(c)锁定各轴之适当位置
3、量测操作:
(a)开启处理机电源
(b)启开打印机开关
(c)参考操作手册,选择所需功能之指令
(d)进行量测,并读出量测值
4、完成后注意事项:
(a)Z轴移至原来位置后,锁定
(b)X,Y轴各移至ZY,锁定
(c)关电源及压力阀
(d)取下测头
(e)并作适当的保养