XZ系列循环再生式气体净化机适合于密闭工作室中氩气、氮气、氦气、氢气、氧气等气体的净化，该系列净化机的规格参数如下：
| 设备名称 | 设备型号 | 工作方式 | 再生方式 | 备 注 |
| 催化再生式氧气净化机 | XZ-C | 半自动 | 半自动 | 工作塔一用一备 |
| XZ-Z | 自动 | 自动 | 工作塔一用一备 |
| 原气要求 | 纯 度 | |
| 杂质要求 | 烃类≤60PPm；H2≤1000PPm,；H2O≤1000PPm |
| 输出纯气 | 纯 度 | ≥99.999% |
| 杂质含量 | H2O≤1PPm（即露点≤－70℃）；O2≤1PPm； 尘埃粒子数（≥0.3μm）3-5个／升 |
| 工作压力 | 0～1.0MPa |
| 处理气量 | 1～500Nm3/h |
本系列净化机特别适合价格高昂的气体，以减少损失、降低成本为主要目的。本系列净化机循环净化时由于原料气是工作室中的气体，其水含量与很多因素有关，如果工作室内气体露点H2O＜1000ppm（露点-20℃）,则净化后气体的露点≤1PPm（露点-70℃），如上表所示
