质量范围:1~100amu 1~300amu 质量过滤器:6mm四极杆 一般灵敏度:0.15mA/Torr 压力范围:大气压到10-9Torr,皮拉尼压力(真空)计和贝阿德-阿尔珀特真空计组合 扫描频率范围:1,000~0.1 amu/sec 质量校正稳定性:加热后(30分钟)+/-0.1 amu 分辨率:质量数范围内1amu 离子源:开放式,电离源 灯丝材质(双灯丝设计):钍铱 电子能量范围:10-150 eV 电子发射电流:0.1-5 mA 探针材料:304SS,科瓦铁镍钴合金,氧化铝,钨,依,铜,镍 探针镶嵌法兰:70mm 退火温度:300℃ 电源Z高使用温度:50℃ 电源要求:2.1A/24伏直流电,100/250伏交流电,50/60赫兹电源适配器供应 总重:2.27Kg
Extrel残余气体分析仪可用在两个质量数范围:1~100amu或者1~300amu。系统标配法拉利杯检测器,可选配法拉利杯/电子倍增器双检测器。 系统装备有一个皮拉尼压力(真空)计和贝阿德-阿尔珀特真空计,这使得用户能得到从大气压到超高真空的全范围压力检测。 Extrel残余气体分析仪装配上完整的泵站后可作为一个系统使用。泵站包括:一个70 l/s涡轮分子泵,膜泵, 毛细管进样口。腔使用2 (二又四分之三)英寸法兰镶嵌。 Extrel残余气体分析仪利用RS-232或USB接口与Windows 2000或windows XP操作系统通讯。软件功能强大,易于使用。
Extrel残余气体分析仪是一种结果可靠、操作简便的全压力范围检测的残余气体分析仪。它在同价位的仪器中能提供Z好的性能,能提供理想的背景气分析、泄露气体检测和真空腔表征。
应用领域: 残余气体分析 UHV腔 除气 泄露检测 TPD 等离子体分析 燃烧分析 排放分析
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