真空氦质谱检漏仪_详细资料

产品信息

安捷伦真空氦质谱检漏仪应用于工业真空炉、镀膜系统、电子束焊接设备；电厂冷凝器、热交换器、蒸汽管线、地下冲压电缆；高能物理同步加速器、束线、同步辐射光源；电子扫描显微镜、半导体加工、薄膜制备、质谱分析、真空电子管、激光加工等领域。

真空氦质谱检漏仪特点:
多种语言和计量单位选择，可选中文界面
135º 电离偏转（自然聚焦点）的全新质谱技术，金属密封结构
新的电子线路及信号处理设计
Z小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程
快速清氦和快速响应
测试口耐压高，可实现大漏检漏

技术规格：

性能指标

PR02/PD03

MR15和MD30

性能

前级泵内置式

前级泵外置式及小车

前级泵油式机械泵

DS-42， 2 m3/hr （34 l/m）

DS-302， 14 m3/hr （232 l/m）

涡卷式干泵

干泵-2 m3/hr （34 l/m）

TS-620 30 m3/hr （500 l/m）

Z小可检漏率在1000ppm的氦气背景下

5×10^-12atm cc/sec；5×10^-12mbar l/s；5×10^-13Pa m3/sec ，氦气

测试口Z高耐压

13 mbar，10 Torr，1330 Pa

测试口处对氦气抽速

1.8 l/s

校准

自动或手动（内置或外置）

氦本底清零

按键清零，并具有零点追踪功能

操作界面

高清晰彩显，TFT触摸屏

语言选择

中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语

循环检测

可编程粗抽时间/测试时间，设置报废点

响应时间

＜0.5秒

设定点

标准；5个设定点；常开或常闭；3个漏率点；1个压强点；1个声讯点

通讯协议

RS-232 通讯接口，9600波特率（9芯串口）

执行标准

UL，CE，CSA

无限远程控制（选件）

2.4GHz ISM, 100m（328ft）, 4AA电池/5VDC电源

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性能指标	PR02/PD03	MR15和MD30
性能	前级泵内置式	前级泵外置式及小车
前级泵油式机械泵	DS-42， 2 m3/hr （34 l/m）	DS-302， 14 m3/hr （232 l/m）
涡卷式干泵	干泵-2 m3/hr （34 l/m）	TS-620 30 m3/hr （500 l/m）
Z小可检漏率在1000ppm的氦气背景下	5×10^-12atm cc/sec；5×10^-12mbar l/s；5×10^-13Pa m3/sec ，氦气
测试口Z高耐压	13 mbar，10 Torr，1330 Pa
测试口处对氦气抽速	1.8 l/s
校准	自动或手动（内置或外置）
氦本底清零	按键清零，并具有零点追踪功能
操作界面	高清晰彩显，TFT触摸屏
语言选择	中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语
循环检测	可编程粗抽时间/测试时间，设置报废点
响应时间	＜0.5秒
设定点	标准；5个设定点；常开或常闭；3个漏率点；1个压强点；1个声讯点
通讯协议	RS-232 通讯接口，9600波特率（9芯串口）
执行标准	UL，CE，CSA
无限远程控制（选件）	2.4GHz ISM, 100m（328ft）, 4AA电池/5VDC电源