等离子灰化仪(通用仪器)应用领域:
1、生物芯片领域
2、医用材料、光学材料研究
3、电子半导体领域
4、高分子材料研究
5、电化学、高端零部件处理
6、有机材料的灰化、刻蚀
等离子灰化仪(通用仪器)相关性能:
1、自动调频高频发生器
2、内置旋转真空泵
3、低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts RF) .
4、真空监测.
5、双重气流针阀控制
6、精确时间定时
7、微处理器程序设置
8、LCD状态数字显示
9、抽屉式结构,样本操作方便
10、聚碳酸脂安全防护
技术参数:
电镜有机样本的刻蚀尺寸 | 450mm(W)x350mm(D)x300mm(H) |
工作腔室 | 派热克斯玻璃 150mm(L)x100mm(Dia.) (硼硅酸盐玻璃为标准配置) |
重量 | 25Kg |
等离子体输出 | Z大150w,13.56 MHz 。 |
真空度 | >ATM to 1 x 10-5mbar;通常 0.5 mbar to 1.0 mbar. |
时间控制 | Z长可设置99小时59分钟 |
双重气流控制 | 双重针阀气流控制,可选1种或2种气体 (校准 5-100cm3/min air at A.T.P) |
电源 | 230 V, 50Hz (3 amp Max) |