INFICON UL1000 氦质谱检漏仪,德国品质_详细资料

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   UL1000符合微电子工业生产的要求。从坚固的金属外壳到方便移动的滚轮，至 I·C AL, 用于消除在10 -11 至10 -12 超高灵敏漏率范围中长平衡时间的运算法则，都无不显示了其无与伦比的优越性。
系统软件包含带有故障查找指令的先进自诊断程序。并可调用防止氦气或工艺气体污染的保护性功能。UL1000的通风系统不会干扰通常清洁室中从天花板至地面的空气流动。涡轮分子泵的抽速和压缩比可降低并消除氦污染。
    UL1000具有可转动的控制界面，装在仪器商的显示器用十分清楚的大型字体显示测量结果于状态信息，这样可远距离方便地观察读值。通过更新软件，新的固件可通过标准接口在数分钟内完成安装。

应用：

技术参数
Z小可检漏率（按AVS2.1和EN1518标准）
＜5×10 -12 mbar.l/s
Z小可检漏率（吸入模式）
＜3×10 -8 mbar.l/s
入口压强          粗检模式
                        精检模式
                        超精检模式
15 mbar
2 mbar
0.4 mbar
抽泵抽速
16-25立方米/小时
氦气抽速（进气口处）    粗检模式
精检模式
超精检模式
8 升/秒
7升/秒
2.5升/秒
可检质量数
2、3、4amu, 氢， 3 氦，氦
电源电压
110－120V；220－240V
重量
110公斤；242磅
尺寸，包括手把（长×宽×高）
1068×525×850毫米
　

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