SPIN200i 德国APT匀胶机_详细资料

产品信息 1、匀胶机工作原理： 匀胶机（spin coater）的工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上，匀胶机常用于各种溶胶凝胶（Sol-Gel）实验中的薄膜制作，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。 2、匀胶机型号及技术参数如下： 型号 SPIN150i SPIN200i POLOS300 POLOS450 POLOS600 基片范围 直径160mm or 4ʺ方片 直径260mm or 6ʺ方片 直径360mm or 8ʺ方片 直径460mm or 350mm方片 直径600mm or 430mm方片 程序段数 无限制 无限制 无限制 无限制 30个程序 操作步数 无限制 无限制 无限制 无限制 90个步骤 旋转速度 0-12,000 rpm ±1rpm steps 0-12,000 rpm ±1rpm steps 0-12,000 rpm ±1rpm steps 0-1500rpm ±1rpm steps 0-1,500 rpm ±1rpm steps 旋转精度 ±0.1 rpm ±0.1 rpm ±0.1 rpm ±0.1 rpm ±0.1 rpm 旋转方向 顺时针、逆时针、交换摆 顺时针、逆时针、交换摆 顺时针、逆时针、交换摆 顺时针、逆时针、交换摆 顺时针、逆时针 旋转时间 无限制*,± 0.1 seconds steps 无限制*,± 0.1 seconds steps 无限制*,± 0.1 seconds steps 无限制*,± 0.1 seconds steps 1 to 999 sec/step 腔体直径 202 mm 302 mm 402 mm 502 mm 642mm 外形尺寸 (w*h*d ) 274 x 250 x 451 mm 380 x 307 x 559mm 430 x 310 x 650mm 795 x 638 x 922mm 800 x 1,450 x 1,650mm 触屏控制 全彩触屏控制 全彩触屏控制 全彩触屏控制 全彩触屏控制 全彩触屏控制 设备重量 14Kg 20Kg 32Kg 75Kg 三、匀胶机的特点： 1、该匀胶机采用德国先进技术： 2、匀胶机采用NPP天然聚丙烯材质构造设计，这种材质有很好的抗腐蚀性和抗化学物性，美观大方； 3、匀胶机真空Chuck经精密加工制成，具有良好的光洁度及平整度，保证晶圆片被很好地吸附，主轴采用进口微型单列向心球轴承支撑，轴向有弹性垫及调整垫，可保障主轴具有较高的精度。 4、在安装结构上，采取了减振措施，保证了在运转时噪音很低，保证涂覆表面均匀，保证通过调节转速调节涂覆厚度。 5、匀胶机腔体配备吹氮(N2)功能，或压缩空气、氮气压力可通过调压阀和节流阀实现调节，与配套真空泵一同使用。

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