光栅尺数显装置

Z大量程

　11000mm

　准确度

　±3μm/M ； ±5μm/M ； ±10μm/M ；

　分辨率

　0.5μm；1μm；2μm；5μm

　零位间隔

　50mm（或按客户要求做）

　输出信号

　方波（三路A、B、Z；六路 ）；正弦

　工作电压

　±5V

　工作温度

　-10 ~ +45℃

　Z高工作速度

　100M/min