洁净室多级碰撞采样器
该多级碰撞采样器将悬浮颗粒按照粒径大小分级采集到硅片、铝膜及其它平面介质上进行扫描电镜或其它技术分析洁净室污染。
仪器特点:
l 6级碰撞采样
l 切割直径:0.05、0.1、0.3、1.0、3.0、10µm
l 采集颗粒于不同介质上进行粒径、形状及化学成分分析
l 噪音低无污染采样泵
l 采样流量:3 L/min 3 liters per minute
l 尺寸HxD:230 x 300 x 240 mm
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