JC06-Michell 在线露点仪 半导体行业专用在线露点仪 高稳定性能在线露点仪

在线露点仪 半导体行业专用在线露点仪 高稳定性能在线露点仪

型号: JC06-Michell                            

简单介绍 （变送器+国产二此表） 专用于半导体行业 Michell

●安装简便

●高度的稳定性和重复性

●测量范围Z低达-120OC露点，相当于〈1ppbV

●Z佳精确度为±1℃露点

●4～20mA及RS 485输出

●半导体工业表面处理和清洁 英国密析尔仪表有限公司（Michell）生产，专业的露点变送器生产厂商。

技术参数：

传感器

类型：密析尔Ceramic 陶瓷湿度变送器

测量范围：-120～-40℃ 露点 （标定-100～-40℃）

精确度：-40～-60℃ 范围为±1℃;-61～-100℃ 范围为±2℃; -101～-120 范围为±4℃（估）

分辨率：-40～-79.9℃ 范围为01℃;-80～-100℃ 范围为1℃；-100～-120 范围为1～3℃

额定压力：Z低为10-9torr；Z高为24MPa

气流率：1～5 Nlmin-1

电子电路

电源：额定24VDC，10V min., 28V max ,25 mA max

输出：4～20mA可调,使用提供的界面软件调，调节范围1～80℃Z大负载=1k ? （28VDC 时），Z小负载=200?（10VDC 时）（50?/v）

出错状态显示：标准的出错误状况：23mA＝变送器故障；20mA＝超越测量

范围；4mA＝小于测量范围。这些设置能通过提供的软件界面进行调节

机械结构

探头：冷拉不锈钢，内部0.1-0.2µm Ra镭电镀抛光

北京北信科仪分析仪器有限公司

地址：北京市昌平区西三旗龙旗广场2号楼

：李

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