LX-10制冷循环器使用范围:对半导体制造装置发热部的冷却:单晶片洗净转载、印刷机、自动夹座安装装置、喷涂装置、离子镀装置、蚀刻装置、单晶片处理装置、切片机、包装机、显影剂的温度管理、露光装置、生磁部分的加热装置等。LX-10制冷循环器产品概述节省水资源,可以使用水兑乙二醇混合液进行循环制冷,节约资源;严密的循环管路设计,防止循环水污染。LX-10技术指标:
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