主要特征
l 桥架固定，工作台移动的固定桥式结构，为整机提供了更稳定可靠的精度基础，并确保高速运行时，振动对精度的影响Z小
l 柔性同步带系统，兼顾了柔性啮合与刚性轴向传动的优点，确保高加速度时定位精度，从而提高运动的平稳性
l 陶瓷Z轴、全花岗岩结构，为计量室环境下的测量提供了稳定的高精度
l Z向采用了可调式气动平衡设计，提高了机器的动态性能，提升Z轴安全性
l 标配温度传感器，自动补偿由于温度变化而引起的误差
l Y向采用整体式燕尾导轨，提高了机器的精度和重复性
l ZX驱动系统减少偏摆和扭转，Y向光栅安装于工作台的ZY，阿贝误差小
l 机器框架采用花岗岩材料构成，厚重且稳定，显著提高了整机的刚性，并有效地减少了振动的影响
l 采用HEXAGON高分辨率金质光栅，其热膨胀系数获得PTB认证
规格型号与技术指标:
| 型号 | Rumba686 | Rumba8106 | Rumba10128 |
| 行程（mm） | X轴 | 600 | 800 | 1000 |
| Y轴 | 800 | 1000 | 1200 |
| Z轴 | 600 | 600 | 800 |
| 空间尺寸（mm） | Dx | 1036 | 1236 | 1436 |
| 平台（mm） | Ph | 350 | 350 | 350 |
| Py | 1800 | 2000 | 2200 |
| 支撑（mm） | Sx | 740 | 870 | 1000 |
| Sy1 | 480 | 530 | 580 |
| Sy2 | 640 | 720 | 790 |
| 外形尺寸（mm） | Lx | 1766 | 1976 | 2176 |
| Ly | 2005 | 2205 | 2405 |
| Lz | 3086 | 3086 | 3086 |
| 承重（kg） | 400 | 400 | 600 |
| 机器重量（kg） | 4276 | 4980 | 5637 |
| MPEe（μm） | 1.4+L/450 | 1.5+L/350 | 1.7+L/350 |
| MPEp（μm） | 1.8 | 1.8 | 1.8 |
| 光栅尺分辨率（μm） | 0.039 |
| 空间移动速度（mm/s） | 520 |
| 空间移动加速度（mm/s2） | 1039 |
| 流量/供气压力 | 0.1m³min,>0.7MPa |
注：工作环境为温度（20±1）℃, 湿度为25%-75%
