UVISEL远紫外到近红外的光谱型椭圆偏振仪

      UVISEL远紫外到近红外的光谱型椭圆偏振仪

UVISEL—相调制技术

●   采用光弹性晶体来调制偏振光，而不是传统椭偏技术中的机械偏光装置
●   能在全谱范围内测得非常准确的椭偏角（Y, D），从而可以对透明衬底、超
     薄薄膜和折射率接近的样品进行高精度和高灵敏度的特性分析。
●   能够进行先进的参数测量，包括极化度、各向异性以及Mueller矩阵元素
     的确定。高达1毫秒/每数据点的快速数据采集速率，使得UVISEL成为动
     态研究和液态表面测量的理想解决方案。

UVISEL—远紫外至近红外的宽光谱范围

●   覆盖了190nm到2100nm的宽光谱范围
●   UVISEL VIS: 210-880 nm | UVISEL FUV: 190-880 nm | UVISEL  NIR: 245-2100 nm
      | UVISEL ER: 190-2100 nm | UVISEL VUV: 142-880 nm

UVISEL—模块化设计实现灵活配置

●   UVISEL提供一系列的自动选件和附件来增强系统的功能
●   模块化的设计可以离线、在线检测甚至为减小占地面积和满足超净间要求而集成到一个机柜中
●   包含成熟的光谱型

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