氧化锌原子层沉积
- 源:二乙基锌
- 无金属源:水
- 温控蒸汽提取
- 快速脉冲原子层沉积阀控制剂量
- 沉积温度50-200 oC
- 周期时间4秒
-每周期厚度 1.9 埃(饱和剂量)
- 电阻率5 x10-4 欧姆•厘米
- 150oC下的碳杂质小于2%
- 均匀性:100mm直径范围内公差小于± 1%
- 重复性:± 1%
- 折射率:1.90-1.95
- Zn:O = 1:1
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