旋转台 | 直径:0.01um~75um |
| 旋转精度:(0.04+6H/10000)um(H=Probing height测量高度) |
| 旋转速度:6rpm |
| 工作直径:150mm |
| ZX范围:±3mm |
| 升降范围:±1° |
| Z大探测直径:280mm |
| Z大工件直径:440mm |
| Z大工件重量:20kg |
垂直圆柱 | 位移范围:280mm |
| 粗/微进给:粗进给 约30mm/rev 微进给 约1mm/rev |
| Z大测量高度(OD):280mm |
| Z大测量高度(ID):280mm |
| Z大测量深度:100m2m(使用标准测头时12AAB681) |
水平支臂 | 位移范围:165mm |
| 粗/微进给:粗进给 约30mm/rev 微进给 约1mm/rev |
空气补给 | 空气压力:390kPa |
| 空气消耗:每分钟45升(正常情况下) |
探头与测针 | 测量范围:±1000um |
| 测量力:70至100mN(7至10gf) |
| 测量方向:双方向切换测头 |
| 标准测头(12AAB681):硬质合金球ф1.6mm |
性能参数 | |
| 数字滤波:2CR-75%/50%,2CR-75%/50%(相位校正),Gaussian-50% |
| 截止值:低通:15upr,50upr,150upr,500upr |
| 带通:15-150upr,15-500upr,50-500upr |
| 参考圆:LSC,MZC,MIC,MCC |
| 资料分析项目:圆度、同心度、同轴度、垂直度、平面度、平行度、 |
| 壁厚偏差、径向圆周跳动、轴向圆周跳动、与轴的同轴度、与平面的垂直度 |
| 放大陪率:100X-200,000X、自动或任意 |
| 数据采样点:Z多1,800点/转 |
| 可测量截面个数:大于5 不大于100 |
| 处理器:配备了Roundpak-100的PC |
| 记录器:外部打印机(选件) |
| 气压:390kpa |
| 耗气量:30L/min |
| 电源供给:100V-240V AC,50/60Hz |
| 电源消耗:40VAZ大(不含PC) |
尺寸 | 主装置: 660*415*620mm |
| 空气过滤装置:210*130*190mm |
重量 | 主装置:40kg |
| 空气过滤装置:2kg |
标准附件 | |
| 1、标准测头(12AAB681) |
| 2、增益调整膜(350365) |
| 3、测量分析软件Roundpak100 |
| 4、用户手册 |
选配配件 | |
| 1、快速卡盘(211-032) |
| 2、参考半球(211-016) |